真空燒結爐腔體加工要點
真空燒結爐中為了減小腔體內壁的外表積,一般用噴砂或電解拋光的辦法來取得平整的外表。真空爐中超高真空體系的腔體,更多的是利用電解拋光來進行外表處理。
超高真空腔體的氬弧焊接,原則上有必要選用內焊,即焊接面是在真空一側,避免存在死角而發作虛漏。真空燒結爐中真空腔體不允許表里兩層焊接和兩層密封。
真空燒結爐的真空腔體的內壁外表吸附很多的氣體分子或其他有機物,成為影響真空度的放氣源。為實現超高真空,要對腔體進行150~250℃的高溫烘烤,以促使材料外表和內部的氣體盡快放出。烘烤辦法有在腔體外壁環繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經濟簡略的烘烤辦法是使用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,避免熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。
不銹鋼是現在超高真空體系的主要結構材料。其間300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有***的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270~900℃工作等長處,在高真空和超高真空體系中,使用廣泛。
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