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          真空甩帶爐的結構特點
          發布時間:2023-08-15   瀏覽:1091次

            真空甩帶爐的結構特點

            真空甩帶爐是一種常用于半導體、光電子、新材料等領域的熱處理設備,具有以下結構特點:

            1.爐體結構:真空甩帶爐的爐體結構通常采用立式設計,由爐膛、耐熱隔熱層和外殼組成。爐膛內部通常采用高溫合金材料或陶瓷材料制成,能夠承受高溫和真空環境。

            2.甩帶機構:真空甩帶爐中的主要部件是甩帶機構。甩帶機構由驅動裝置、輸送帶和張緊裝置組成。輸送帶采用耐高溫的合金材料制成,并通過驅動裝置帶動輸送帶進行循環運動,以實現物料的連續輸送和熱處理。

            3.加熱系統:真空甩帶爐的加熱系統通常采用電阻加熱器、感應加熱器或輻射加熱器等方式。根據熱處理要求,加熱系統可提供各種加熱方式和分區控制,以實現對物料的精確控溫。

            4.真空系統:真空甩帶爐的真空系統用于提供所需的真空環境。真空系統包括真空泵、真空計、氣體冷凝器等設備,能夠實現高真空或中真空處理。

            5.控制系統:真空甩帶爐配備先進的控制系統,可對溫度、氣氛、輸送速度、真空度等參數進行實時監控和調節。控制系統通常采用PLC、觸摸屏等自動化設備,實現精確的熱處理過程控制和數據記錄。

            總體而言,真空甩帶爐具有結構緊湊、操作方便、加熱均勻、真空度高等特點。它可以實現對物料的連續處理和精確控溫,廣泛應用于高溫熱處理、石墨化、脫氣、退火等工藝過程。但是,具體結構特點還會受到不同制造商的設計和技術水平的影響,因此在選擇和使用真空甩帶爐時,還應考慮到實際需求和設備的性能指標。


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            真空燒結爐的空氣抽不干凈是啥原因   真空燒結爐在平時的試驗中如果有液體存在,就需要一個液體蒸發的過程(高真空下不需要加熱也能氣化),可以通過長時間拉真空來氣化掉這部分液體從而達到高真空(等穩定)。如果長時間都達不到目標氣壓的話,就要考慮系統和羅茨泵了,你可以直接測一下羅茨泵的極限真空(不接入其他系統),若完好則就是系統的密封性能了。   (1)水冷裝置,真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件,均在真空、受熱狀態下工作。在這種極為不利的條件下工作,必須保證各部件的結構不變形、不損壞,真空密封圈不過熱、不燒毀。因此,真空燒結爐各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置,以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。   (2)采用低電壓大電流:在真空容器內,當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時,真空容器內的通電導體在較高的電壓下,會產生輝光放電現象。在真空熱處理爐內,嚴重的會產生弧光放電,燒毀電熱元件、隔熱層等,造成重大事故和損失。因此,真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓,一般都不超過80一100伏。同時在電熱元件結構設計時要采取有效措施,如盡量避免有***的部件,電極間的間距不能太小窄,以防止輝光放電或者弧光放電的發生。   (3)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下使用:真空燒結爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的,因而對這些材料提出了耐高溫,蒸汽壓低,輻射效果好,導熱系數小等要求。對抗氧化性能要求不高。所以,真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些材料在大氣狀態下極易氧化,因此,常規熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。   (4)嚴格的真空密封:金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空燒結爐內進行,因此,獲得和維持爐子原定的漏氣率,保證真空爐的工作真空度,對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題,就是要有可靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空性能,在真空熱處理爐結構設計中必須道循一個基本原則,就是爐體要采用氣密焊接,同時在爐體上盡量少開或者不開孔,少采用或者避免采用動密封結構,以盡量減少真空泄漏的機會。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出裝置也都必須設計密封結構。   (5)自動化程度高:真空甩帶爐的自動化程度之所以較高,是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作,需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作內在真空熱處理爐內進行,操作人員無法接近。同時,有些動作如加熱保溫結束后,金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完成。在這樣迅速的條件來完成許多動作,是很容易造成操作人員的緊張而構成誤操作。因此,只有較高的目動化才能準確、及時按程序協調動。

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