氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進氣系統、過濾系統、操作平臺等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結構，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構，夾層內設置蛇形導流板，既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力，爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。 　　加熱及保溫層，發熱體采用帶式合金發熱體，分三個加熱區，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復合保溫結構，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強度，采用雙真空結構。爐膽內外同時抽真空，并設置手動及自動壓差閥。考慮真空放電現象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　平常所用的真空燒結爐廣泛應用于陶瓷、碳化硅、硬質合金材料、光電鍍模材料和石墨純化的真空燒結處理，在使用真空燒結爐中要進行維護保養，只有做好保養才可以更長久地使用。 　　1、一般的話，真空燒結爐設備四個配電柜的清潔作業。 　　2、如網帶為頂針網帶，請用砂紙等打磨頂針端，以防止對電池片的劃傷，如果是斜角網帶，則在轉速100情況下低速烘烤，以鏟除有機物。 　　3、如燈管感染有機物，請當心用酒精棉或無紡布擦洗。 　　4、腔體內部清潔作業(需求注重各氣孔有無阻塞)。 　　5、有機排和熱排的清潔作業(包括廠務和設備，以及設備的油煙盒)，請用酒精清潔設備上的有機物等。 　　6、爐體上的密封結構，真空系統等零部件拆裝時，應用酒精或汽油清洗干凈并經過干燥后，涂上真空油脂再組裝上。 　　7、各傳動件如果出現限位不準、控制失靈、卡位等現象時，應該立即停止，不要強行進行操作，以免損壞機件。 　　8、真空燒結爐停爐后，爐內必需保持在66.5LPA以下的真空度。 　　9、真空泵，閥門，測量儀器，熱工儀表，電氣元件等配套件，都必須按照產品的技術說明使用、維修以及保養。 　　此外，高溫熱處理爐維修操作應在不通電的情況下進行。如果在帶電情況下進行維修時，必須由***的維修人員進行維修，同時確保人身及設備的*安全。同時，鋁板點焊機機械傳動件應定期加油或換油保養。 　　以上是關于對真空燒結爐維修保養的總結，所以我們使用中要做好相關的工作。