真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，洛陽八佳科技小編就為您介紹真空燒結爐的應急措施. 　　一. 冷卻水異常 　　1、確認加熱電源已停止。 　　2、爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　3、冷卻水發生異常時，設備處于停止狀態，馬上接通緊急用冷卻水。 　　4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　二 壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設備停下來。 　　三 停電 　　1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。 　　四 加熱電源掉電 　　1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。 　　五 充氣氣體(氬氣或氮氣)停止 　　1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。 　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。 　　3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。 　　4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。 　　六 真空室壓力惡化 　　1、真空排氣時間比通常長時，應把設備停下來進行檢查，根據真空室內構造物不同狀態下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。 　　2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。 　　在真空和保護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結，要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時，一般采用兩種工藝;即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態時，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結才能實現。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。目前這種爐型在我國還未見定型產品。

　　真空燒結爐主要用于活性金屬和難溶金屬以及硬質合金，磁性材料和不銹鋼等的燒結。真空燒結爐實際上是低壓(減壓)燒結。真空度愈高，愈接近中性氣氛，愈與材料不發生任何化學反應。 　　真空燒結爐的主要優點是： 　　1、有利于排除吸附氣體，對促進燒結后期的收縮作用明顯。 　　2、真空燒結爐對硅，鋁，鎂，鈣等雜質或其氧化物的排除，起到提純材料的作用。 　　3、可改善液相燒結的潤濕性，有利于燒結過程中的收縮和改善合金的組織結構。 　　4、是理想的惰性氣氛，當不宜用其他還原性或惰性氣體時，或者對容易出現脫碳，滲碳的材料，均可采用真空燒結爐。 　　5、真空燒結爐減少氣氛中的有害成分(水，氧，氮等)對產品的玷污。例如，電解氫中的含水量要求降至***-40℃較為困難;而真空燒結時，真空度只要在數百Pa就相當于含水量為***-40℃。 　　真空下的液相燒結，發生粘結金屬的揮發損失是個重要問題。這不僅改變和影響合金的成品成分和組織結構，而且對燒結過程本身也起阻礙作用。粘結金屬的揮發損失，主要是在燒結后期(即保溫階段)發生。保溫時間長，粘結金屬的揮發損失就多。為此，化物雜質，水分等與材料中的碳發生反應，生成CO隨爐排出。此時真空燒結爐爐壓明顯提高，合金中的總碳量降低。顯然，碳含量的變化取決于原材料粉末中的氧含量以及燒結時的真空度。兩者越高時，生成一氧化碳的反映越容易進行，脫碳也越嚴重。 　　熔鹽電解爐的真空燒結與氣體保護燒結的工藝沒有根本區別，只是燒結溫度低一些，一般可降低到100~150℃。這有利于延長真空燒結爐的壽命和降低電能的消耗。