氣相沉積爐的特點是什么 　　氣相沉積爐可用于以碳氫氣體為碳源的復合材料的化學氣相沉積。其中CVD沉積爐是指高溫下的氣相反應，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發生化學反應以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術開始是作為涂層的手段而開發的，但目前，不只應用于耐熱物質的涂層，而且應用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導體薄膜等，是一個頗具特征的技術領域。 　　設備特點在于：(1)在低溫下合成高熔點物質;(2)析出物質的形態在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進行涂層，而且可以在粉體表面涂層，特別是在低溫下可以合成高熔點物質，在節能方面做出了貢獻，作為一種新技術是大有前途的。 　　下面小編詳細列舉幾條爐子的特點，以便大家能更好的了解爐子的性能。 　　氣相沉積爐工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；并且，采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好； 　　與此同時采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 　　氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好； 　　氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

　　真空燒結爐的結構特點及組成 　　真空燒結爐由爐體、爐蓋、保溫桶、熱壓裝置、發熱體和電源、真空系統、水冷卻系統及測溫系統等組成。爐體全部采用不銹鋼制造，為雙層結構，分內外桶體，爐底封頭采用旋壓工藝加工。因為熱壓裝置產生的力要由爐體承受，爐體必需具有很高的強度和足夠的剛度，在外力和高溫下不得變形。爐底動密封裝置的固定座中心線與爐體上法蘭盤必需垂直，以保證下頂桿運動的直線度。動密土封裝置固定座有良好的冷卻條件，以延長密封件的使用壽命。 　　真空燒結爐的爐蓋由爐蓋體、舉起油缸和上壓頭組成。爐蓋為雙層結構，為承受下頂桿傳遞的壓力，必需具有足夠的強度和剛度。上壓頭的下端工作時處于高溫區，必需強制冷卻。保溫桶由隔熱桶、反射桶、保溫層及桶體組成，分別用石墨、鉬片、石墨氈和不銹鋼制作。用鉬片制作的反射桶主要抵御由發熱元件產生的輻射熱，以免損害保溫層和爐體 　　真空燒結爐的熱壓裝置由液壓站、油缸、舉起油缸、下頂桿及控制器組成。液壓站有兩路壓力輸出，一是驅動爐蓋上下運動，二是驅動熱壓油缸運動。熱壓油缸的控制有兩種方式，手動或自動。自動運行時，可根據設定的壓力自動保壓，使制品始終處于恒壓狀態。 　　熱壓油缸在有載工作時必需具有較高的穩定性，不能抖動。制備高質量的產品，熱壓油缸的運動質量是重要的條件之一。真空燒結爐的下頂桿是一個在高溫區有載運動的零件，承受高壓和高溫的作用，又要在高溫區運動。要求它既不能變形，又不能在高溫環境下氧化。因此它必需具有良好的冷卻條件和動密封性能。 　　真空甩帶爐的結構特點及組成小編就分享到這了，看完本文您就應該有了基本的認識和了解相信大家都明白了吧！總的來說，希望對大家有所幫助。