使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項
發布時間:2023-02-09 瀏覽:2031次
使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項
使用氣相沉積爐時需要特別注意以下幾點。大家一起看看吧。
1、模具一般由用戶自備,模具材料基本采用高純石墨,其耐壓極限為40MPa。建議用戶在30MPa以下使用,加壓前計算模具上、下沖頭面積,換算成壓力。具體公式如下:系統允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa
2、熱電偶為鎢錸型,使用后變脆,不能接觸。破損時請立即更換。其型號為W2型。
3、冬季要注意氣相沉積爐循環水的保溫問題。否則容易發生自來水管破裂。
4、使用后爐體應保持真空,爐內保溫層容易受潮,保持真空下次抽真空會更快。
5、設備復雜,建議專人使用,專人負責,嚴格對初學者進行使用前培訓,有使用后檢查、操作使用記錄等設備使用規定。
6、氣相沉積爐也可作為真空燒結爐使用。用于真空燒結爐時,請注意在爐內放置坩堝后,合上保溫板蓋后,不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐。
7、操作前觀察窗玻璃清潔,清掃爐內壁,觀察水壓情況,觀察爐內石墨有無損傷,開機后觀察儀表顯示是否正常,測試液壓系統是否正常工作。
8、氣相沉積爐使用一年后,應將儀器送計量部門校準。
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